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除酸除烟废气净化案例

实例:某企业除酸厨烟废气净化案例

光电企业酸废气净化处理工程设备图

(一)案由

该光电企业于蚀刻制程(湿式化学蚀刻)乃是利用液体化学物质与基质表面的特定材料反应溶出,其中蚀刻制程所产生酸气成分包括有机酸之醋酸以及无机酸之硝酸与部份盐酸、硫酸、磷酸、氢氟酸等有机及无机酸共排现象,因此于光电厂除了常有酸气排放臭味及处理效率须分别同时符合法规有机物及无机酸排放标准之问题。

(二)业者问题

目前业者多数采用湿式洗涤搭配酸碱中和设备,对于水溶性佳且解离性高的酸性气体有不错的净化处理效果,但是因为湿式洗涤技术对于低浓度时(<3ppmv)之酸性气体处理效果并不佳(8),尤其针对部分酸气(如醋酸及氢氟酸)之嗅味阈值甚低(10 ppb),使用传统空污处理设备,无法达到排气标准之要求,也因此经常衍生臭味陈情之问题。本案业者目前采用湿式洗涤设备处理酸性气体,排气风量约600 NCMM,酸性气体主要成份为醋酸及硝酸且其处理效率约在80-85%,处理后之主要之醋酸及硝酸气体大约还有2-5 ppmv,因此无法完全解决因酸气所衍生之臭味问题。

(三)建议技术

本案主要为湿式洗涤设备处理制程酸性排起所衍生之臭味问题,因此选择处理技术必须要符合能处理低浓度有机及无机酸气以及耐高湿度之环境之技术,因此若于后端加装ㄧ般除臭常用之活性碳吸附设备,将无法达到此废气条件下之性能及寿命要求,因此建议业者采用常温除臭触媒濾材,藉由对于特定吸附材之改质,提升对于酸性气体之吸附能力,也同时具备耐高湿度之操作环境,再搭配在线再生与改质技术,可大幅延长触媒濾材寿命达2 年以上,如此即可解决业者所面臨之问题。

(四)测试成效

此常温除臭触媒濾材(图7)于某7.5 代光电厂进行实厂处理酸排气之效率及寿命测试,测试结果如下表所示,对于臭味主要之醋酸气体而言,处率效率>99%以上(处理后浓度低于嗅味阈值),且经由现场气味比对,经由此常温除臭濾材处理后,几乎没有任何味道,为一可解决低浓度酸气臭味问题之处理技术,本技术目前已可将使用过之濾材进行在线再生(图8),经工研院反复测试结果,已連续再生超过10 次以上,性能仍然维持高于95% (表3)。经SGS 进行效率分析,本设备对于醋酸之处理即时效率>99%,出口浓度低于醋酸之臭味阈值(<10 ppb),濾材寿命大于1 个月(若搭配在线再生则大于30 个月)。

现场测试:

表-常温除臭触媒濾材测试结果表:

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